真空泵油在半导体工业领域中的再造循环利用

ysvac
2021-01-04

真空泵油LVO108


全氟甲基丙烯酸酯油(PFPE)分子结构链饱和状态,不过氧化物原素,有机化学性能尤其平稳,抗氧化剂,与氧相溶,不可燃性,耐强碱、强酸等化合物,高溫性能平稳,并具备非常低的挥发速度和优良的润化性能。不但安全性, 且使用期长。

         半导体材料工业生产在集成ic生产过程中务必应用一些独特的汽体与一些具备毒副作用的氧化剂,因此规定在加工工艺生产过程中普遍应用的真空泵具备十分优异的适应能力,PFPE因其出色性能而获得普遍应用。特别是在在清除火灾事故或发生爆炸的风险安全隐患等层面也是性能非凡。

         全球对生态环境保护的规定愈来愈高。如何处理在真空泵维修和应用全过程中所造成的废油是摆放在全部企业眼前的一大难点。传统式的处理方法是将收购的废油送至本地废油处理站焚烧处理。但PFPE是没法点燃的。换句话说,简易解决应用过的PFPE油会导致**性的空气污染。

       全氟甲基丙烯酸酯废油再造利用的全部阶段和生产制造程序流程,做为初始PFPE真空泵油生产商的专业技能和工作经验基本以上。全部再造工作中均在国外美国俄亥俄州的Deepwater生产制造加工厂进行。根据很多年的技术专业工作经验,PFPE真空泵油的再造加工过程,包含中合,过虑,除气,精馏塔,氧化铋再造及其特制等流程,在其中氧化铋再造是至关重要的流程,并加上健全的材料分析测试方式包含气象色谱仪,红外线色谱仪,分子光谱图等方式来实时跟踪,剖析并监管相关酸值,黏度,蒸汽压等至关重要的指标值,以保证再造生产制造的PFPE再造油性能指标值与新生产制造的PFP油完全一致,而且确保在操作过程全过程中性能彻底等同于,加工工艺工程项目的**控制及彻底闭试循环系统等的特性, 促使再造成品率达95~98%。

         除此之外,所述再造工程项目中,全部过虑,特制等程序流程所造成的废料均严苛依照英国相对的政策法规来解决,并严苛依照有关的程序流程,以利于生态环境保护。再造利用计划方案,针对顾客有以下明显优势:


(1)为顾客搜集废油免费出示涂料桶;

(2)节约了应急处置废油的花费和時间;

(3)因为再造油的再次应用,节约了实际操作运作成本;

(4)因为废油的安全性和合理合法应急处置,完成了环境保护目地;

(5)保证 再造利用的油做到原商品的规范;

(6)在全部操作流程中出示服务支持。


         鉴于此,海外基本上全部的真空泵生产商和集成电路芯片生产厂均听取意见此计划方案。搜集全部使用过的PFPE油,获得本地公司和其代理商的适用和服务项目。再造利用,完成环境保护,并控制成本。

         中国半导体材料产业发展快速,环境保护规定持续提升。半导体业废油解决的环境污染问题已造成集成ic生产厂及私营部门的重视。现阶段,中国取得成功地创建了该项目地健全保障体系。一方面,把搜集的PFPE废油100% 送至英国新泽西州加工厂开展再造利用,使中国有关公司一样得此再造利用计划方案的六大益处;另一方面,为中国的环境保护工作做出贡献。


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