如果混合使用，性能将发生变化，这不只是与真空泵的使用寿命有关，有时甚至与润滑不当导致的事故有关。

适用于真空蒸馏，真空浓缩，真空浸渍，真空过滤，真空造型，真空干燥，钢水真空处理等。往复式真空泵和水环式真空泵使用基本相同的过程。但往复式真空泵不能直接泵送水蒸气。当需要泵送水蒸气时，必须配备一个冷阱并通过制冷压缩机系统进行冷却。

在真空泵的操作过程中，由于空气的存在，经常会产生泡沫，特别是当油中含有表面活性添加剂时，更容易发生泡沫，并且泡沫不容易消失。使用润滑剂时产生的泡沫会损坏油膜，这不只是会导致摩擦表面上的烧结物增加磨损，还会促进润滑剂的氧化和变质。