真空泵油的化学成分对真空得到机器设备的功效，较理想的真空泵油具备高的粘度系数、低的饱和蒸气压、好的油水分离器性和空气氧化安定性，有好的吸气速度和極限真空。此外，不一样的真空泵和不同应用标准对油阀的挑选也很重要。因真空泵油油品供货不立即或市面上欠缺适宜的种类等要素，真空泵油在应用全过程中有时候会产生油品代用、混用的问题，包含国内油与海外油、国内油中不一样种类的油、同一类油不一样生产厂家或不一样型号、新油与应用中的“旧”油混用这些。