真空泵长久性运用后，会有真空值减少、密闭性处漏油、真空泵转动止步不前、甚至造成“卡死”、油空气污染较为严重、真空泵腔生锈、旋片挺大的撞击声、真空泵腔内落入肿块划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，这时候尽量对真空泵检修、拆装。其步骤为，1、断掉开关电源电路，将真空泵从超滤装置上卸除；2、用相互作用力法或加压法将脏油释放出来并收集起來，防止空气污染；3、卸除同步带、皮带轮积键(双极旋片真空泵包含同步带)；4、先拆低真空泵端，取下后端盖，再取出低真空泵转子、旋片及弹黄等；5、将前端盖卸下来，取出高真空泵转子、旋片及弹黄等；6、取出后视镜、自动排气阀、排汽管盖等；7、把要卸下来的金属复合材料零件用汽油彻底清除干净整洁，并用酒精甩干。橡胶材料零件可用15%的氢氟化铵水溶掖烧辞退油。对毛刺或腐蚀的零部件.可用磨刀或金相砂纸慢慢地研磨，以去掉铁锈和毛刺。清理完的零部件尽量吹干；8、安装中，先组装后续，将弹黄、旋片扛起放进转子内，接着放入真空泵腔，装向前端盖，重新安装卡簧，均匀对称地扭紧螺丝。安装完毕，应保证转动灵活、均匀。装上前边转子以后端盖后，重新安装自动排气阀(自动排气阀片应紧靠高压闸阀)以及其件，如气镇设施等。