双级旋片真空泵的工作原理

ysvac
2020-07-15

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旋片泵设计原理


包含圆柱形泵室,主要有定子、转子和旋片组成。转子上的旋片由于离心力或弹簧弹力迫使其向外并沿泵室内壁滑动。气体由进气口进入,被旋片推动并最终由排气口排出,排气口装有油封的排气阀。

(1)旋片泵应用范围

油封式旋片泵在真空工艺中被广泛使用,既适用于工业生产也适于科研,可产生粗到中真空范围。

(2)旋片泵运行原理(以单级三叶片为例)

一个抽排周期中的不同状态

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视频展示的是双级旋片泵工作原理,其中两级前后串联,被抽气体逐级被压缩后,推开排气阀,排至泵外。泵工作室用泵油做密封,是抽气室、压缩室、过压室和排气室相互隔绝。如果泵所抽气体水蒸气含量较高,还须打开气镇。

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