干式螺杆真空泵DRYVAC DV 450

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DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。莱宝DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的特殊要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的莱宝RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。


莱宝DRYVAC螺杆原理的优点

由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下更长的系统正常运行时间。

从泵入口到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。

与莱宝螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和平板显示的生产工艺。


适合应用特点的DRYVAC版本说明

莱宝DRYVAC DV和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用(如进样室),或大腔室抽空。

莱宝DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供更高可靠性,其优化的性能适合光电和平板显示生产工艺常用的工艺气体。莱宝DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速,并且由于集成了吹扫气系统,对于粉尘不敏感。

莱宝DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。莱宝DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。

莱宝DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频器外置,可集成于外部电气柜内;对于其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC,使得操作和配置更加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口(可根据要求提供其他接口)与系统对接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。

DRYVAC DV450和DV650是单台螺杆泵,DV1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。

DRYVAC DVR5000 C-i是DRYVAC -i的特殊版本。该工艺泵由DRYVAC DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆泵一样,WH 2500也是由变频器操纵和控制(Max. 100Hz)。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。



干式螺杆真空泵DRYVAC DV系列产品



DRYVAC系列干式螺杆泵设计特点

- 创新式水冷(莱宝独有),泵温低

- 完全密封的螺杆和罗茨泵,只与外部形成静密封

- 机械和电气集成简单

- 通过监视运行温度、排气压力和电流消耗提供集成保护功能

- 占地面积小

- 能耗低,归功于优化的转子线形以及符合IE2 效率等级要求的创新电机设计

- 适用电压和频率范围大:380 -480V,50/ 60Hz

- NRTL认证

- 符合RoHS


莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵与莱宝SCREWLINE SP系列设计主要设计不同点在于莱宝DRYVAC为螺杆两端轴承支撑,SCREWLINE为单侧轴承支撑(悬臂支撑)设计

客户得益

- 紧凑的螺杆干泵,占用空间小

- 系统集成灵活性非常高

- 噪音低

- 可靠性高

- 集成的自我监控功能

- 无意外停机,维护要求低

莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵典型应用

- 太阳能镀膜(SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等)

- 进样室

- 拉单晶/多晶硅铸锭

- 显示器和玻璃镀膜

- 耐磨涂层镀膜

- 带钢镀膜

- 工业炉

- 冶金

- 真空干燥

- 电子束焊接

莱宝DRYVAC DV450干式螺杆真空泵尺寸图

莱宝DRYVAC DV450干式螺杆真空泵尺寸图

莱宝DRYVAC DV450干式螺杆真空泵泵抽速曲线

DRYVAC DV 450的抽速曲线


莱宝DRYVAC DV450干式螺杆真空泵技术参数


莱宝DRYVAC DV450干式螺杆真空泵订货号

品牌
莱宝(Leybold)
型号
DV 450
极限压强
5 x 10⁻³ mbar
抽速
450 3/h