油增压泵 OB 18000

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在E-03mbar工作压强范围,油增压泵所表现出的大抽速的特点,可以弥补罗茨机组和油扩散泵在此区间抽速较小的缺点, 因此特别适合于真空感应炉(VIM/VID)、溅射镀膜设备等工艺应用的真空需求。莱宝真空提供LEYBOJET OB系列油增压泵产品,满足您的工艺需求。

油增压泵 OB 18000 抽速曲线图


油增压泵抽速曲线特性

                 

产品特点

- 专为工业应用设计,坚固耐用,真空性能优异

- 模组化设计,配置使用方便灵活

- 投影尺寸小,加热效率高,运行安全(表面温度低于45 °C),控制智能(PLC)

- 可选高真空法兰接口

- 可选能耗管理系统

订货信息

1) 用LVO540泵油按DIN 28 427测得。

2) 冷却水需要量参看ΔT = 15 °C。出水温度不应超过50 °C。

3) 前级泵可选用单级旋片泵(SOGEVAC)或者干式螺杆泵(DRYVAC650),以及罗茨真空泵(RUVAC)的组合。

4) 泵不含油,需单独购买。

品牌
莱宝(Leybold)
型号
OB 18000
极限压强
<6.6 x 10 ⁻6 mbar
抽速
18000 l/s