在E-03mbar工作压强范围,油增压泵所表现出的大抽速的特点,可以弥补罗茨机组和油扩散泵在此区间抽速较小的缺点, 因此特别适合于真空感应炉(VIM/VID)、溅射镀膜设备等工艺应用的真空需求。莱宝真空提供LEYBOJET OB系列油增压泵产品,满足您的工艺需求。
产品特点
- 专为工业应用设计,坚固耐用,真空性能优异
- 模组化设计,配置使用方便灵活
- 投影尺寸小,加热效率高,运行安全(表面温度低于45 °C),控制智能(PLC)
- 可选高真空法兰接口
- 可选能耗管理系统
订货信息
1) 用LVO540泵油按DIN 28 427测得。
2) 冷却水需要量参看ΔT = 15 °C。出水温度不应超过50 °C。
3) 前级泵可选用单级旋片泵(SOGEVAC)或者干式螺杆泵(DRYVAC650),以及罗茨真空泵(RUVAC)的组合。
4) 泵不含油,需单独购买。