典型应用

- PVD镀膜系统

- 建筑玻璃镀膜

- 光学镀膜

- 液晶显示器

- 平板显示

- 科研

- 分析领域

技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证：满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232，维护接口

- 可以安装其它接口：Profibus、RS

485 C，9针24 V SPS

客户得益

- 抽速和气载量较高

- 可靠、耐用

- 免维护

- 适合用于分析、薄膜技术、电子显

微镜、科研领域等对振动敏感的应

用场合

- 由于采用模块化设计具有灵活性，

变频器可以安装在一侧或下面

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