皮拉尼真空计THERMOVAC TTR 916 N

真空压力测量和原理

随着真空应用领域的拓展，对真空变送器量程的要求达到2000毫巴至10^-12毫巴，测量范围达16个数量级。

由于物理特性的原因，没有一个单独的真空计能够在整个压力范围内进行定量测量。因此，真空提供一系列采用不同设计的具有各自特有测量范围（测量原理应用直接压力测量和间接压力测量）的真空计。

直接（）式压力测量与被测量的气体类型无关。利用机械方法，通过作用于薄膜表面的压力进行测量。

间接压力测量通过测量气体也压力有关的性质（例如热导率，电离概率）进行间接测量的，因此间接压力测量的结果取决于具体的气体类型。测量读数是以空气或氮气为测量气体时的读数，对于其他气体，可利用修正因数修正测量读数。

真空变送器控制简单，极易与系统集成。

真空计的优势：

可靠性高

操作简单

测量结果重复性好

持续监测若干测量地点

安装简单并且节省成本和空间

测量地点和加工站之间的传输距离变长（可达100米）

通过数字/模拟接口将数据传输至PLC/计算机

符合电磁兼容性（EMC）要求

符合国际标准和规程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

THERMOVAC型变送器基于皮拉尼真空计的热传导原理设计，S型变送器配备集成的继电器输出，适合工艺控制。THERMOVAC型变送器带有360°LED环显示真空计的状态。

优势

采用MEMS技术。耐冲击，耐震动

精度高，相应速度快

可靠性高

TTR 91N(S)/ TTR 96N

测量原理

皮拉尼热传导真空计

量程范围

5．10^-5到1000mbar

TTR 911N(C/S)/ TTR 916N

TTR 911N和TTR 916N系列配置数字接口或者触碰显示器。C版带有Parylene HT镀膜适合腐蚀性应用。

测量原理

皮拉尼热传导真空计

量程范围

5．10^-5到1000mbar

TTR 101N(S)

TTR 101N系列真空计的采用基于MEMS技术固态传感器单元，耐冲击和振动。该真空计结合的皮拉原理与压电原理的优势（10mbar到1500mbar测量结果与气体种类无关）。

优势

复合真空计（MEMS皮拉尼与MEMS压电薄膜）

精度高，量程宽

测量原理

皮拉尼热传导/压电压力

量程范围

5．10^-5到1500mbar